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瑞士VAT真空閘閥國(guó)內(nèi)現(xiàn)貨供應(yīng)-VAT閥銷售商

【概要描述】瑞士VAT真空閘閥國(guó)內(nèi)現(xiàn)貨供應(yīng)-VAT閥銷售商
某些真空工藝對(duì)工藝環(huán)境的純度以及化學(xué)和物理穩(wěn)定性有特別高的要求。例如,這適用于幾乎所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,以及許多使用真空系統(tǒng)的研究設(shè)施。在基礎(chǔ)研究領(lǐng)域,處理?xiàng)l件的能力,如非常高或低的溫度、強(qiáng)輻射和壓力高達(dá)10-15mbar的高真空(XHV)--目前技術(shù)上可行和可測(cè)量的極限--常常被添加到這些要求中。

型號(hào): 點(diǎn)擊量:166 廠商性質(zhì):代理商 更新日期:2024-09-10
產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌流動(dòng)方向單向
3C閥門類別工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,汽車,電氣,綜合

瑞士VAT真空閘閥國(guó)內(nèi)現(xiàn)貨供應(yīng)-VAT閥銷售商

不同類型閥的特點(diǎn)計(jì)應(yīng)用:


真空閘閥 – 通常是隔離或較簡(jiǎn)單的控制應(yīng)用的理想選擇。安裝深度很窄,傳導(dǎo)性最大(流阻最?。l門的行程空間需要。這些也可以采取真空狹縫閥、真空傳輸閥或真空門的形式,產(chǎn)品通過這些閥門被引入真空工藝室。


真空角閥 – 通用的一般用途真空閥。尺寸非常緊湊,通常在密封、執(zhí)行器和傳感器方面非常模塊化。平均電導(dǎo)率,非常容易維護(hù)。非常好,如果需要的話,有非常精確的可控性。


真空蝶閥 – 主要用于控制應(yīng)用。非常窄的安裝深度,良好的傳導(dǎo)性,快速和精確的可控性。


真空擺閥 – 非常窄的安裝深度和緊湊的尺寸,結(jié)合非常精確的控制行為,非常好的絕緣能力和非常高的傳導(dǎo)性。


對(duì)稱流真空調(diào)節(jié)閥 – 特殊類型,優(yōu)化了從第一個(gè)開口到整個(gè)閥門開口的非常均勻的流動(dòng)行為。


氣體計(jì)量閥或漏氣閥 – 特別是對(duì)于非常精細(xì)的計(jì)量,例如,低流量的工藝氣體的計(jì)量。


泄壓閥或排氣閥 – 安全閥允許真空系統(tǒng)有控制地,通常是通風(fēng),并防止超過規(guī)定的壓力條件。


真空止回閥 –被動(dòng)式,體積流量和壓差操作的閥門。通常用于保護(hù)真空系統(tǒng)免受倒流污染。例如,用于真空回流泵和真空系統(tǒng)之間。


快速閉合閥 – 主動(dòng)式保護(hù)閥,通常保護(hù)較大的真空體積或真空室不因泄漏而造成真空損失。主要特點(diǎn):對(duì)檢測(cè)到的壓力下降有非常快的關(guān)閉反應(yīng)。在UHV和XHV應(yīng)用中,通常由扇形真空閥(通常是真空閘閥)支持,以確保即使在非常高的壓差下也能實(shí)現(xiàn)密封隔離。


真空全金屬閥 – 專為壓力、溫度和輻射條件設(shè)計(jì)的一組真空閥。主要特點(diǎn):硬對(duì)硬(金屬對(duì)金屬)的密封,而不是彈性密封,因?yàn)閺椥悦芊鉄o法承受服務(wù)條件。

真空多閥裝置 – 特殊類型的真空閥,將幾種真空閥的功能結(jié)合在一個(gè)單元中。主要特點(diǎn):減少部件數(shù)量,裝配速度快。通常是根據(jù)客戶要求定制。


3位真空閥 – 真空隔離閥的特殊形式,其中除了關(guān)閉和打開的位置外,還可以定義第三個(gè)閥位。例如,一種應(yīng)用是為了避免在高壓差時(shí)由于閥門打開過快而產(chǎn)生的壓力脈沖。 在第三個(gè)位置,密封圈上的接觸壓力在短時(shí)間內(nèi)略微降低,而閥門卻沒有明顯的打開,從而使壓力變化更加平穩(wěn)。

瑞士VAT真空閘閥國(guó)內(nèi)現(xiàn)貨供應(yīng)-VAT閥銷售商


除了這些基本類型,還有大量的混合變體,其中一些結(jié)合了不同的閥門技術(shù)或?yàn)槟承┨厥庖筇峁┙鉀Q方案。

什么是高性能真空閥?

這些應(yīng)用中的真空閥在以下方面與標(biāo)準(zhǔn)真空閥不同:

最小化的顆粒排放

高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,不會(huì)通過其外殼、機(jī)械裝置或密封件的材料放出顆粒,也不會(huì)通過其開閉或控制運(yùn)動(dòng)的摩擦放出顆粒。這是通過對(duì)所用材料的特殊選擇和處理,以及通過某些設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)來實(shí)現(xiàn)的,這些細(xì)節(jié)可以最大限度地減少或在某些情況下消除粒子的釋放。

最小化的運(yùn)動(dòng)脈沖

每一個(gè)閥門通過其開啟和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)脈沖。在自動(dòng)驅(qū)動(dòng)閥門的情況下,這些脈沖的范圍可以從輕微的振動(dòng)到可以聽到和感知的硬沖擊。這些運(yùn)動(dòng)脈沖可能會(huì)對(duì)敏感的制造工藝產(chǎn)生負(fù)面影響,例如,通過額外的顆粒釋放。除了設(shè)計(jì)特點(diǎn)外,高性能真空閥主要通過控制所謂的運(yùn)動(dòng)曲線來減少這些脈沖。與乘客電梯的運(yùn)行方式類似,在到達(dá)關(guān)閉點(diǎn)前不久,關(guān)閉速度會(huì)減慢,以防止 "撞擊"。這些運(yùn)動(dòng)曲線通??梢员恍薷?,例如,在關(guān)閉時(shí)間和關(guān)閉頻率方面,它們可以適應(yīng)所需條件。

中性化學(xué)和物理行為

真空閥總是改變真空工藝室的均勻性,無論其形式如何。這種情況的發(fā)生,部分是由于其幾何形狀的結(jié)果。流動(dòng)路徑的變窄或變寬可以改變流動(dòng)阻力和流動(dòng)速度,或者死角,如閥板的移動(dòng)空間,可以促進(jìn)沉積過程。這也是通過開啟和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)發(fā)生的,它改變了流動(dòng)行為以及工藝氣體的濃度、分布、混合和溫度。高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,盡可能地補(bǔ)償這種影響,或使其可控。為此,在設(shè)計(jì)中加入了各種額外的技術(shù),這些技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了閥門的基本功能,如開啟和關(guān)閉或控制。

精確的可重復(fù)的行為

高性能真空閥與標(biāo)準(zhǔn)溶液的區(qū)別主要在于其高度可重復(fù)的行為。這意味著,雖然標(biāo)準(zhǔn)解決方案在每個(gè)單獨(dú)的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)中表現(xiàn)出波動(dòng),并在使用期間顯示出對(duì)其定義的性能值的偏差,但高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化,在長(zhǎng)時(shí)間的使用中始終表現(xiàn)出相同的行為,定義在非常窄的范圍內(nèi)。這意味著它們能夠穩(wěn)定真空過程,并將過程控制的復(fù)雜性降到zuidi。

真空閥的類型有哪些?

真空閥和其他閥門一樣,使用一些基本的力學(xué)原理,如閘閥、擋板盤或旋轉(zhuǎn)盤來分離或隔離真空區(qū)域并控制體積流量。然而,使用這些力學(xué)原理的基本條件是wanquan不同的。例如,高自由度的顆粒、精確控制非常小的體積流動(dòng)、密封、最小的振動(dòng)和沖擊是至關(guān)重要的特性。因此,這些基本的機(jī)械裝置通常為真空閥設(shè)計(jì)得不同。例如,關(guān)閉機(jī)構(gòu)通常被設(shè)計(jì)為無摩擦地關(guān)閉,并引起最小的振動(dòng)和沖擊,如果有的話。此外,控制運(yùn)動(dòng)可以是極其精細(xì)的劑量,密封被優(yōu)化,以便在理想情況下不釋放任何顆粒,其靜態(tài)或動(dòng)態(tài)特性在長(zhǎng)期使用中保持穩(wěn)定。

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